6種類のガス種に対応する気体流量校正サービス
弊社の流量計校正サービスは、世界の国立研究所でも広く使用されているGFSシステム（dynamic gravimetric mass flow system）を使用して、測定の不確かさ± 0.013% of readingという世界最高レベルの校正を実現しています。
気体流量の定義に基づくグラビメトリック法（重量法）により、流量調整されたガスシリンダが消費した質量値を、高精度電子天びんで計測し、制御装置のハイスピードカウンタから経過時間を求め、単位時間あたりの質量流量値を定義する装置です。
この装置を用いて、検量線による補正ではなく、高純度の窒素、純空気、アルゴン、ヘリウム、水素、六フッ化硫黄を使用した実ガス校正を実現しました。
弊社の校正証明書は英文併記ですので、国内はもとより、海外の顧客から校正証明書類の提示・提出を求められたときでも、そのままご提出いただけます。
流量計校正サービス
校正範囲
一般校正
| ガス種 | 流量レンジ |
|---|---|
| 窒素 | 1 sccm ～ 100 slm |
| 空気 | 1 sccm ～ 100 slm |
| ヘリウム | 10 sccm ～ 100 slm |
| 水素 | 20 sccm ～ 200 slm |
| アルゴン | 5 sccm ～ 80 slm |
| SF6（六フッ化硫黄） | 1 sccm ～ 6.2 slm |
当社校正サービスの特長
最高の校正能力を提供する気体流量専用校正設備
弊社の流量標準設備は、世界最高水準の校正能力を有しています。常用参照標準であるFluke Calibration社のmolbox/molblocシステムは、ラミナフロー（層流式）エレメントを用いて、倍量法によりN2の場合 1 sccm という微小流量から 100 slm までの幅広い範囲で校正を実施しています。
また弊社はFluke Calibration社の認定ラボであり、製造者と同じシステムで、同じプロトコルを用い、同社製molblocの校正や調整作業も可能にしました。
半導体機器や宇宙関連、医療機器などに使用される流量計は、校正環境においても高い清浄度が要求されます。お客様にも安心してご依頼いただけるよう、弊社ではCLASS10000 / CLASS 7 のクリーンルームで校正作業を行い、維持管理に努めています。
グラビメトリック式の参照用標準器とラミナフロー式の常用標準器
参照用標準器 GFS
GFS（ Dynamic gravimetric mass flow system）は、充填ガス消費式のグラビメトリック式質量流量標準器で、ボトルにチャージされた気体の質量を測定した上で、時々刻々消費される気体の質量を測定して質量流量を定義します。
常用標準器 molbox/molbloc システム
molbox/molbloc システムはラミナフロー（層流式）エレメントを用いた常用標準器で、参照用標準器とサクセッシブアディション法( 倍量法) によってN₂の場合1sccm ～ 100slm の範囲の校正を実施することができます。
均一な校正品質の提供と校正の確実性を向上する自動化技術
校正作業の測定のバラツキを排除し、作業手順や補正の誤りなどのヒューマンエラーを徹底的に排除するために校正システムの自動化に取り組んでいます。
気体流量校正システムmolbox/molbloc システムにはマスフローコントローラを装備し、ソフトウェアとの連携により、全自動化を実現しています。
また、常用標準器として、マスフローメータやマスフローコントローラを積極的に導入しています。