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做sem测试件需要做什么前期处理

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发表时间:2022-09-30 14:07作者:铄思百检测

SEM就是观察表面形貌的一种方法,对于块状材料,如果观察断口形貌,则要把样品打断,将断口在丙酮中超声处理,去除碎渣,再喷碳或金。对于抛光样品,需要将抛光面腐蚀。腐蚀剂根据不同材料选择。

扫描电镜是精密仪器 ,在做SEM测试时,样品的制备很关键,如果如果样品存在问题或制样不当,不仅无法得到理想的效果,还会对电镜造成损伤,甚至造成设备故障。

我们来看看扫描电镜样品制备的要求:

1. 样品为干燥无水固体,无易挥发溶剂

2. 观察面应该清洁,无污染物

3. 样品应导电

4. 样品热稳性要好,且不会被电子束分解

扫描电镜(SEM)的样品制备

1、块状样品

扫描电镜的试样制备是比较简便的。

对于块状导电材料,除了大小要适合仪器样品座尺寸外,基本上不需要进行什么制备,用导电胶把样品粘结在样品座上,即可放在扫描电镜中观察。

对于块状的非导电或导电性较差的材料,可先进行镀膜处理在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累,影向图象质量。

若需拍块体/薄膜截面,需明确截面制备方法,一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆断两种方式;

2、粉末样品

①将粉样撒在样品台的双面胶上,用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。

②乙醇分散制样:取少量样品于离心管中,加入 一定量无水乙醇(或水),室温超声 5-10min,随后采用 3 中液体的制样方式制样测试。

3、液体样品

用移液枪取样品超声后的悬浊液,滴一滴于硅片或锡纸上,自然风干/红外灯烘干,烘干后将硅片或锡纸用导电胶粘在样品台上测试;


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